在半导体制造中,"bumping"指的是在芯片上形成微小的金属突起,用于与PCB(印刷电路板)或其他芯片进行电气连接。
常见的bumping缺陷包括:
不均匀高度(Non-uniform bump height):导致接触不良或应力集中,最终可能损坏芯片或影响性能。
缺失或错位(Missing or misplaced bumps):导致部分或全部连接失败,造成功能失常
污染物(Contamination):污染物侵入会导致电气性能下降,增加接触电阻,甚至导致短路。
焊接问题(Solderinglssues):例如冷焊、空洞(voids)或桥接等问题可能影响连接的可靠性。
针对半导体和电子封装中的bumping缺陷,通过VOMMA渲染软件可实现如下拍摄效果:
1.正位度,通过灰度图可以满足检测;
2.高度,通过深度图可以满足;
3.整体效果,通过点云图来实时展示。